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硅微粉產品系列比較復雜，應用十分廣泛。目前應用于集成電路覆銅板的硅微粉主要有結晶型硅微粉、熔融型硅微粉、球形硅微粉、復合硅微粉、活性硅微粉等五個品種。

（1）結晶型硅微粉

即石英礦，經洗礦、破碎、磁選、超細碎、分級等工藝加工而成的石英粉。結晶型硅微粉在覆銅板行業中的應用在國外起步較早，國內硅微粉廠家在2007年前后具備此種粉體的生產能力。使用結晶硅微粉后，覆銅板的的剛度、熱穩定性和吸水率都有較大幅度的改善，隨著覆銅板市場的快速發展，結晶硅微粉的產量和質量都有了較大幅度的提高。

其主要缺點是：對樹脂體系的影響不是很好的，分散性和耐沉降性不如熔融球形硅微粉、耐沖擊性比不上熔融透明硅微粉，熱膨脹系數很高，且硬度大，加工困難。

（2）熔融硅微粉

即選具有晶體結構的石英原料，經酸浸、水洗、風干、再經高溫熔融、破碎、人工分揀，磁選、超細碎、分級等工藝精制而成的硅微粉。相比結晶型硅微粉，它具有更低的密度（2.2g/cm3），更低的介電常數，更低的熱膨脹系數（0.5×10-6/K），該種粉體主要在高頻覆銅板中作為填料使用。

其主要缺點是：熔融溫度較高，對于企業生產能力要求較高，工藝復雜，生產成本較高，一般產品介電常數過高，影響信號傳遞速度。

（3）復合型硅微粉

又稱低硬度硅微粉。采用數種無機礦物經精確配比熔制成無定型態玻璃體，經破碎、磁選、超細碎、分級等工藝加工而成的硅微粉。此種粉體莫氏硬度在5.5左右，二氧化硅的成份被大大降低，化學成份的改變，可以有效降低硅微粉硬度，減小鉆頭在鉆孔制程中的磨損，減小鉆孔過程中的粉塵污染。

（4）球形硅微粉

球形二氧化硅是通過物理或化學方法生產加工獲得的、顆粒形貌為球形的無定型二氧化硅粉體材料，平均粒度可以從微米級到亞微米、納米級。球形二氧化硅由于其特有的高填充、流動性好、介電性能優異的特點，主要應用在高填充、高可靠的高性能覆銅板中。覆銅板用球形二氧化硅關注的主要指標有：粒徑分布、球形度、純度（電導率、磁性物質和黑點）。

三種類型的二氧化硅主要應用性能對比

球形硅微粉在覆銅板行業的主要應用領域

球形二氧化硅的制備方法有：高頻等離子體法、直流等離子體法、碳極電弧法、氣體燃燒火焰法、高溫熔融噴霧造粒法以及化學合成法等，其中具有工業化應用前景的制備方法是氣體燃燒火焰法。目前我國能夠生產高純球形二氧化硅、亞微米級球形二氧化硅的企業數量很少。

火焰熔融法

覆銅板使用的球形二氧化硅采用氣體燃燒火焰法生產，由于其表面性質特殊，在后續應用時與有機體系的相容性差，難于均勻分散于有機體系中，嚴重影響其應用效果，需要對球形二氧化硅產品進行應用技術研究。球形二氧化硅的應用技術主要包括：分散技術、表面處理技術和復配技術。

（5）活性硅微粉

即向硅微粉添加適量偶聯劑，在適當的溫度下改性而成的硅微粉。此種粉添加在樹脂中具有很低的粘度，和樹脂的結合性能強，做成的板材具有很好的抗剝離強度，優異的耐高溫性能，同時還可以改善鉆孔性能。

其主要缺點是：目前覆銅板廠家所采用的樹脂體系不盡相同，硅微粉生產廠商難以做到同一種產品適用所有用戶的樹脂體系，且覆銅板廠由于使用習慣，更愿意自己添加改性劑，因此活性硅微粉在覆銅板行業的推廣使用尚須時日。